オリフィス孔の超精密加工なら大古精機へ

オリフィスとは

流体を通す管の内部に設けられた、中心に円形の孔をもつ仕切り板（プレート）のことです。流体の流量を制御したり、圧力を一定に保つ役割を担う非常に重要な部品であり、わずかな寸法誤差が性能に大きく影響します。

このオリフィスは、自動車部品のショックアブソーバーや油圧機器、燃料系統などに用いられるほか、半導体製造装置や医療機器、分析装置など、多くの産業分野で不可欠な存在です。特に近年では、微細流路や高圧対応の用途が増えており、より高精度な加工技術が求められています。

オリフィス孔の超精密加工に対応

大古精機では、これらのニーズに応えるため、オリフィス孔の超精密加工に対応しています。最小φ0.2mmの微細孔加工をはじめ、要求される流量係数や流体抵抗に応じて、形状精度・面粗度ともに高いレベルで仕上げることが可能です。

加工方法は、用途や材質に合わせて最適な工法を選定いたします。

また、材質に関しては、ステンレス(SUS)や超硬材での弊社への引き合いが多くみられますが、この他にもSKD材・インコネル・チタン合金などの難削材にも柔軟に対応しておりますので、併せてご相談ください。

新製品の開発段階での試作や、既存製品の流量特性改善のための再設計などもお気軽にご相談ください。図面段階のご相談から、試作・評価・量産まで、一貫してサポートいたします。

微細で高精度なオリフィス加工をお求めの際は、ぜひ大古精機へお声かけください。

参考情報：半導体分野でのオリフィス

半導体製造分野において、オリフィス（Orifice）は、主にプロセスガスや液体の「流量制御」と「流量制限」を目的として使用されます。
詳細な役割と応用は以下の通りです。

流量の精密制御

半導体製造プロセス（特にエッチングや成膜など）では、反応ガスやキャリアガスの流量を非常に精密に制御する必要があります。オリフィスは、配管の断面積を意図的に狭くした小さな穴であり、この絞りによって流体の流れを調整します。
マスフローコントローラー（MFC）やコントロールバルブと組み合わせて使用され、必要な流量を正確に供給するための重要な要素となります。

流量の制限（安全対策）

ガス供給ライン（特に毒性や可燃性ガスを使用するシリンダーキャビネットやガス供給装置）にオリフィスを設置することで、万が一の配管破断やガス漏れ事故が発生した場合に、流出するガスの最大流量を制限し、被害を最小限に抑える安全装置としての役割も果たします。

流量の計測

オリフィス前後の差圧を測定することで、流体の流量を間接的に計測する「オリフィス流量計」としても利用されます。可動部がないため故障しにくいという特長があります。

微細加工技術の応用

半導体製品の製造機械において、ガラス管の先端を細く伸ばした微細なオリフィスが、特定の薬剤の噴射や、真空ピックアップ、ワイヤーボンディングなどの精密な作業に応用されています。
このように、オリフィスは半導体製造における流体管理において、精度と安全性の両面で不可欠な部品となっています。

精密研磨加工、精密研削加工は大古精機にお任せください！

大古精機では、「創業90年の老舗のゲージ屋にしかできない精密研磨加工、精密研削加工」の受託を得意としており、ゲージ製作と同じ加工設備・職人による精密研磨を行い、ゲージと同じレベルの検査を行い、受託加工においても「精度保証」を行っております。

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