【精密研削加工事例】セラミックス（ZrO2） t=0.8 プレート研削｜反り15μm・Ra0.1の両立

（画像はイメージです。本文とは関係ありません）

 

高硬度脆性材であるジルコニア系セラミックス（ZrO₂）を用いた薄板の研削加工の実績紹介です。

サイズは30×30×t=0.8mmで、反り15μm以内、面粗度Ra0.1以下という厳しい要求でした。

通常の研削方法ではワークに欠損が生じるため、本案件では特殊なラッピング風セミドライ研削方式を採用いたしました。
専用のパッドを用いて圧力を分散させるとともに、加工面に微量のスラリーを滴下しながら研削を行っております。

その結果、面粗度Ra0.09〜0.1、反り量12〜14μmという成果を得ることができました。
本手法は、高硬度材の精密研削にも応用可能な有効な事例となっております。

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